Fabrication of the Micro-pump using Stereolithography Technology

Stereolithography 기술을 이용한 마이크로 펌프 제작

We fabricated micro-pump using stereolithography technology. The pump was fabricated using PZT for its drive and used non-movable valve of diffuser/nozzle concept. Size of the pump chamber is, $14mm{\psi}$, narrow hole of diffuser/nozzle is $0.5mm{\psi}$ and wide hole $1mm{\psi}$ and chamber depth is 1.2mm, respectively. We confirmed its operation at frequency 100Hz, supply voltage $90{\sim}250Vp-p$. As the result of the pump working measurement, when ethanol is used, the pressure head difference between inlet and outlet of the pump is about 53mm in the frequency of 100Hz, 200V of Vp-p.

본 논문에서는 Stereolithography 기술을 이용하여 마이크로 펌프를 제작했다. 펌프는 구동에 PZT를 사용하고, diffuser/nozzle 개념의 non-movable 밸브를 사용하여 제작했다. 펌프의 크기는 챔버$14mm{\psi}$, diffuser/nozzle의 크기는 좁은 쪽의 구멍은 $0.5mm{\psi}$, 넓은 쪽의 구멍은 $1mm{\psi}$로 제작하고, 챔버의 깊이는 1.2mm이다. 펌프는 주파수 100Hz, 인가 전압 $90{\sim}250Vp-p$ 사이에서 구동시켜, 그 동작을 확인했다. 측정 결과, 펌핑 용액이 에탄올 일 때, 인가 전압 200V, 100Hz로 구동했을 때, 53mm의 수두차를 나타냈다.