Journal of Sensor Science and Technology (센서학회지)
- Volume 10 Issue 5
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- Pages.292-303
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- 2001
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- 1225-5475(pISSN)
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- 2093-7563(eISSN)
Fabrication and packaging of the vacuum magnetic field sensor
자장 세기 측정용 진공 센서의 제작 및 패키징
- Park, Heung-Woo (Display & Nano Devices Laboratory, Korea Institute of Science and Technology) ;
- Park, Yun-Kwon (Display & Nano Devices Laboratory, Korea Institute of Science and Technology) ;
- Lee, Duck-Jung (Display & Nano Devices Laboratory, Korea Institute of Science and Technology) ;
- Kim, Chul-Ju (School of Electronics Engineering, University of Seoul) ;
- Park, Jung-Ho (Dept. of Electronics Engineering, Korea University) ;
- Oh, Myung-Hwan (Display & Nano Devices Laboratory, Korea Institute of Science and Technology) ;
-
Ju, Byeong-Kwon
(Display & Nano Devices Laboratory, Korea Institute of Science and Technology)
- 박흥우 (한국과학기술연구원 디스플레이 및 나노소자연구실) ;
- 박윤권 (한국과학기술연구원 디스플레이 및 나노소자연구실) ;
- 이덕중 (한국과학기술연구원 디스플레이 및 나노소자연구실) ;
- 김철주 (서울시립대학교 전자공학과) ;
- 박정호 (고려대학교 전자공학과) ;
- 오명환 (한국과학기술연구원 디스플레이 및 나노소자연구실) ;
-
주병권
(한국과학기술연구원 디스플레이 및 나노소자연구실)
- Published : 2001.09.30
Abstract
This work reports the tunneling effects of the lateral field emitters. Tunneling effect is applicable to the VMFS(vacuum magnetic field sensors). VMFS uses the fact that the trajectory of the emitted electrons are curved by the magnetic field due to Lorentz force. Polysilicon was used as field emitters and anode materials. Thickness of the emitter and the anode were
본 연구에서는 수평형 전계 방출 소자를 제작하고 그 특성을 측정하였다. 이를 진공자장 센서에 이용하기 위하여 Lorentz 원리를 응용하여 센서를 설계하고 제작하였다.
Keywords