The Fabrication of Microlens Array

초소형 렌즈 배열의 제작에 관한 연구

In this study, we fabricated the microlens array using very simple and economical method which used Si molds made by bulk etching in HNA and spreaded SU-8 on top of the Si mold. And, we developed fabrication conditions for high fill factor microlens array that is $45{\mu}m$ in height and $150{\mu}m$ in diameter. This microlens array can be used for imaging system like IR detector or projection display. It is expected that it can improve the characteristics of these devices.

본 연구에서는 HNA를 이용한 Si의 bulk 식각을 통해 렌즈 모양을 갖는 몰드를 제작 한 뒤 그 위에 렌즈로 사용될 SU-8을 도포 한 다음 몰드와 렌즈를 분리시키는 방법으로 마이크로렌즈 배열을 제조하는 공정을 개발하였으며 이는 공정순서가 단순하며 경제적인 것을 특징으로 한다. Stirring 속도 800rpm 이상의 조건에서 높이 $45{\mu}m$, 직경 $150{\mu}m$의 높은 fill factor를 가지는 렌즈의 제작조건을 확립하였으며, 이와 같이 제작된 초소형 렌즈는 적외선 감지 소자와 같은 영상 소자나 projection display 영역에 응용되어 소자 성능을 향상시킬 수 있다.