압전식 탐촉자의 기계-전기 신호 변환

The Electro-Mechanical Signal Transformation of Piezo-Electric Transducer

전기-기계 상호관계식을 사용하여 시편에서의 산란파를 탐촉자의 전기 신호로 변환시키는 방법을 다루었다. 산란파에 의한 탐촉자의 전기 신호는 입사파와 산란파의 변위, 응력 관계식의 적분으로 표시되었다. 적분 표면은 산란자를 포함하는 닫힌 표면이며 입사파와 산란파의 변위, 응력도 이 표면 좌표에서의 값을 사용한다. 파동해석 결과에서 구한 산란된 파동으로부터 초음파 현미경의 탐촉자 전기 신호를 구했으며 계산 결과를 실험 결과와 비교하였다.

The electromechanical reciprocity identity is introduced to relate the voltage at the terminals of a transducer to the acoustic wavefields scattered from the specimen. The voltage at the terminals of the transducer is expressed as an integral equation in terms of the displacement and stress of the incident and scattered waves on the closed surface enclosing the scatterer. The equation is used to relate the voltage at the terminals of an acoustic microscope's transducer to the acoustic wavefields at the interface between the specimen and the coupling fluid. The voltage calculated using the integral equation is compared with the experimental result.