초록
본 논문에서는 1.55${\mu}m$파장에서 동작하는 $1{\times}5$ 광파워 분리기를 유한 차분 빔전파법(FD-BPM)을 이용하여 모델링하고, BK7 유리 기판에 $Ag^+-Na^+$ 이온교환법을 이용하여 제작하였다. 제작된 소자는 중심 도파로의 이격 거리와 내부 Y-분리기의 분리 각을 조절해 원하는 분리 비를 얻을 수 있는 구조로 되어있다. 도파로 폭 4.5${\mu}m$, 내부 Y-분리기의 분리 각 0.3$^{\circ}$, 중심 도파로의 이격 거리가 575${\mu}m$일 때 TE 모드 입력에 대해 0.46dB의 광파워 분리 비를 얻었다.
In this paper, we have modeled and fabricated $1{\times}5$ equal power splitter for 1.55${\mu}m$ wavelength using finite-difference beam propagation method and $Ag^+-Na^+$ ion-exchanged method in BK7 glass, respectively. The power splitting ratio could be controlled by changing the center waveguide gap and the inner Y-branch angle. As a result, the power splitting ratio shows 0.46dB when the waveguide width, the inner Y-branch angle and the center waveguide gap are 4.5${\mu}m$, 0.3 degree and 575${\mu}m$, respectively.