Journal of the Korean Magnetics Society (한국자기학회지)

The Korean Magnetics Society (한국자기학회)
권호 표지

Magnetic properties of NdEeB thin films with perpendicular anisotropy

수직자기이방성 NdFeB 박막자석의 자기특성

  • 김만중 (한국과학표준연구원 전자기 표준부 자기그룹) ;
  • 유권상 (한국과학표준연구원 전자기 표준부 자기그룹) ;
  • 양재호 (한국과학표준연구원 전자기 표준부 자기그룹) ;
  • 김윤배 (한국과학표준연구원 전자기 표준부 자기그룹) ;
  • 김택기 (충남대학교 공과대학 금속공학과)
  • Published : 2000.12.01
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Abstract

[(300nm)Ta/(500nm)NdFeB/(300nm)Ta] thin films were deposited at 5 mTorr Ag gas pressure by RF-DC magnetron sputtering, and their magnetic properties were investigated. The [Ta/NdFeB/Ta] films deposited on heated Si substrates showed high perpendicular anisotropy and excellent hard magnetic properties. The films sputtered at tile substrate temperature of T$\sub$s/=650$^{\circ}C$ and 700$^{\circ}C$ showed (BH)$\sub$max/=20 MGOe and $\sub$i/H$\sub$c/= 18.9 kOe along the perpendicular direction to the film plane, respectively.

RF-DC 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 5$\times$$10^{-3}$ Torr의 알곤 가스 분위기에서 [(300nm)Ta/(500nm)NdFeB/(300nm)Ta] 영구자석 박막을 제조한 후 이의 미세구조 및 자기특성을 조사하였다 650-75$0^{\circ}C$로 가열된 Si 기판위에 성막한 [Ta/ NdFeB/Ta] 박막은 수직자기이방성과 함께 우수한 경자기특성을 나타내었으며, 특히 기판온도 $650^{\circ}C$와 $700^{\circ}C$에서 제조된 박막은 막면에 수직한 방향으로 각각 20 MGOe의 최대자기에너지적과 18.9 kOe의 큰 고유보자력을 나타내었다.

Keywords