Simulation of Efficient Flow Control for FAB of Semiconductor Manufacturing

반도체 FAB 공정에서의 효율적 흐름제어를 위한 시뮬레이션

The ultimate goal of flow control in the semiconductor fabrication process, one of the most equipment-intensive and complex manufacturing process, is to reduce lead time and work in process. In this paper, we propose stand alone layout in the form of job shop using group technology to improve the Productivity and eliminate the inefficiency in FMS (flexible manufacture system). The performance of stand alone layout and in-line layout are analyzed and compared while varying number of device variable chanties. The analysis of in-line layout is obtained by examining its adoption in the memory products of semiconductor factory. The comparison is performed through simulation using ProSys; a window 95 based discrete system simulation software, as a tool for comparing performance of two proposed layouts. The comparison demonstrates that when the number of device variable change is small, in-line layout is more efficient in terms of production Quantity. However, as the number of device variable change is more than 14 times, stand alone layout prevails over in-line layout.

설비 집약적이며 복잡한 생산 시스템중의 하나인 반도체 FAB 공정은 제품의 흐름시간과 대기시간, 공정 중 재고를 줄이는 것이 흐름제어의 가장 중요한 목표이다. 이에 본 연구에서는 소품종 다랑 생산 시스템에서 발생하는 비경제성을 줄이고 생산성을 향상시키기 위하여 현재 반도체 양산 회사에서 주로 채택하고 있는 In-Line Layout을 분석하고 새로운 제안 방식인 그룹테크놀로지를 이용한 Job Shop 형태의 Stand Alone Layout과 함께 각각의 모델로 구축하고 시뮬레이션 함으로써 일별 생산 계획상의 회수 변화에 따른 각Layout의 특성을 비교, 분석하였다. 이 때 사용한 시뮬레이션 툴은 모델 구축 및 시뮬레이션이 용이하고 범용적인 (이산형 제조 시스템용) ProSys를 사용하였다. 연구 결과로는 일별 생산 계획상의 회수 초기에는 In-Line Layout이 Stand Alone Layout보다 대체로 생산량 측면에서 우세하지만 일별 생산계획상의 회수가 증가된 14회부터는 Stand Alone Layout이 더 우세한 것으로 나타났다