Journal of the Korean Ceramic Society (한국세라믹학회지)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

AlN-Si Thin Film Bulk Acoustic Over-moded Resonator

AlN 압전 박막과 Si을 이용한 체적탄성파 Over-moded 공진기

  • 이시형 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이전국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 김상희 (광운대학교 전파공학과) ;
  • 김종헌 (광운대학교 전파공학과) ;
  • 윤기현 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2000.11.01
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Abstract

AlN와 Si을 이용하여 체적 탄성파 over-moded 공진기를 형성하였다. 높은 c-축 배향성을 갖는 AlN 압전박막은 sputtering에 의해 저온에서 증착하였다. AlN 박막의 c-축 배향성은 기판과 타겥의 거리가 가까울수록, 증착 압력이 낮을수록 (002) 면으로의 성장이 촉진되었다. Si 기판을 이용한 over-moded 공진기로부터 TFR의 임피던스를 산출한 결과 공진영역의 면적에 가장 의존하였다. Al/AlN/Al로 이루어진 TFR의 입력 임피던스는 공진 영역이 크기가 200㎛×200㎛인 경우 가장 50Ω에 근접하였다. Over-moded 공진 특성은 Si 기판의 낮은 Q로 인해 mode 수 294인 2.60976 GHz에서 0.109%의 유효 전기기계결합계수(K/sub eff/²)와 0.3의 K/sub eff/²·Q값을 보였다.

Keywords

References

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