02)553-0151
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대한전기학회
http://www.kiee.or.kr
전기의세계
제49권12호
/
Pages.22-27
/
2000
/
1598-4613(pISSN)
대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
MEMS의 최근 기술동향(추진/구동분야)
박효덕
(전자부품연구원 마이크로머신그룹 수석연구원) ;
박준식
(전자부품연구원 마이크로머신그룹) ;
박철완
(전자부품연구원 메카트로닉스 연구센터 전임연구원)
발행 : 2000.12.01
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