전기의세계

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

MEMS의 최근 기술동향(추진/구동분야)

  • 박효덕 (전자부품연구원 마이크로머신그룹 수석연구원) ;
  • 박준식 (전자부품연구원 마이크로머신그룹) ;
  • 박철완 (전자부품연구원 메카트로닉스 연구센터 전임연구원)
  • Published : 2000.12.01
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Abstract

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