02)553-0151
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대한전기학회
http://www.kiee.or.kr
전기의세계
제49권12호
/
Pages.10-15
/
2000
/
1598-4613(pISSN)
대한전기학회 (The Korean Institute of Electrical Engineers)
MEMS 기술을 이용한 감지 및 제어기의 기술동향
박세광
(경북대 전자전기공학부) ;
김태송
(한국과학기술연구원 마이크로시스템 연구센터 책임연구원)
발행 : 2000.12.01
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