플라즈마 중합 폴리에틸렌 구조와 유전특성

The Structures and Dielectric Properties of Plasma Polymerized Polyethylene

플라즈마 중합박막은 내정전 플라즈마 중합장치에 의해서 제조되었다. 중칙률을 4O[W]에서 100[W] 사이에서 최대값을 나타내었다. ESCA 분석에샤는 285.4와 285.5[eV]에서 -CH2, -C-를 나타내는 피크들을 보였다. 무시할 수 없는 양으로 산소와 그룹화 되어 있는 532.8[eV]에서의 C-O와 533.8[eV)에서의 C-O[C/O=8]를 확인하였다. ESR 분석에서 강한 진폭이 나타나는 곡선은 매우 약한 방전전력에 영향을 받은 포화상태를 나타낸다. 알림기를 함유한 -CH-CH=CH- 구조로 사료된다. 제조된 플라즈마 중합박막은 100[Hz]~200[kHz]의 주파수에서 비유전율이 3,5정도를 보이고 유전정접은 0.08의 낮은 값올 냐타내었다.

Plasma polymerized thin films were manufactured inter-electrode coupled plasma polymerization apparatus. The deposition rate reached its maximum between 40[W] and 100[W]. In the ESCA analysis, peaks revealing -CH2, -CH, -C- were present at 285.4 and 285.5[eV] respectively. The C=O peak at 532.8[eV] and the C-O peak at 533.8[eV], which were grouped with an unignorable amount of oxygen were conformed. In ESR analysis, the curve revealing strong amplification was in saturation, which was affected by weak power. This is considered as a -CH-Ch=Ch- structure containing the Allyl group. The relative permittivity of the plasma polymerized thin films was about 3.5 at a frequency of 100[Hz]∼200[kHz]. The dissipation factor showed allow value of 0.008.