초록
Er과 Yb이 첨가된 인산염 유리를 KNO3 응용액에 담구는 1단계 이온교환 공정을 통하여 채널 도파로를 제조하고자 하였다. 이온교환시 반응기 내부에 산소를 흘려줌으로서 인산염 유리의 열학한 화학적 내구성에서 비롯되는 유리 도파로 표면의 손상을 억제할 수 있었다. 제조된 도파로의 $1.5{\mu}m$ 신호광에 대한 증폭특성을 평가한 경과, 이온교환 공정 최적화 작업을 거친 45nm도파로의 경우, 2개의 980nm LD를 사용하는 양방향 펌핑시 160mW 파워에서 7.5dB의 순이득을 얻을 수 있었다.
One step thermal potassium ion exchange process was carried out to form optical channel waveguides in an ErNb co-doped phosphate glass. Flowing oxygen gas into KN03 melt during ion exchange was effective to prevent glass surface damage that causes an increase of waveguide propagation loss. Amplification characteristics of the waveguides were evaluated at $1.5{\mu}m$ signal wavelength with 980 om laser diode pump. A 45 mm long waveguide whose processing parameters had been optimized exhibited a small signal net gain of 7.5 dB at the launched pump power of 160 mW.160 mW.
