Journal of the Korean Electrochemical Society (전기화학회지)
- Volume 3 Issue 1
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- Pages.44-48
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- 2000
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- 1229-1935(pISSN)
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- 2288-9000(eISSN)
DOI QR Code
Electrochemical Characteristics of $V_2O_5$ based All Solid State Thin Film Microbattery by Ex-situ Sputtering Method
Ex-situ 스퍼터링법에 의한 $V_2O_5$ 전 고상 박막전지의 전기화학적 특성
- Lim Y.C. (Dept. of Chemical Eng., Korea University) ;
- Nam S.C. (Dept. of Chemical Eng., Korea University) ;
- Jeon E.J. (Thin Film Technology Research Center, KIST) ;
- Yoon Y.S. (Thin Film Technology Research Center, KIST) ;
- Cho W.I. (Battery and Fuel Cell Research Center, KIST) ;
- Cho B.W. (Battery and Fuel Cell Research Center, KIST) ;
- Chun H.S. (Dept. of Chemical Eng., Korea University) ;
- Yun K.S. (Battery and Fuel Cell Research Center, KIST)
- 임영창 (고려대학교 화학공학과) ;
- 남상철 (고려대학교 화학공학과) ;
- 전은정 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
- 윤영수 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
- 조원일 (한국과학기술연구원 전지 연료전지연구센터) ;
- 조병원 (한국과학기술연구원 전지 연료전지연구센터) ;
- 전해수 (고려대학교 화학공학과) ;
- 윤경석 (한국과학기술연구원 전지 연료전지연구센터)
- Published : 2000.02.01
Abstract
Amorphous
상온에서 DC-magnetron sputtering으로 증착한 비정질의