Journal of Sensor Science and Technology (센서학회지)
- Volume 9 Issue 1
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- Pages.36-43
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- 2000
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- 1225-5475(pISSN)
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- 2093-7563(eISSN)
Fabrication and Characteristics of ZnO-based thin film sensors with high selectivity for TMA gas
TMA 가스 선택성 향상을 위한 ZnO계 박막센서의 제작 및 특성
- Park, Sung-Hyun (Dept. of Electronics Eng., Pukyong National University) ;
- Choi, Woo-Chang (Dept. of Electronics Eng., Pukyong National University) ;
- Kim, Sung-Woo (Dept. of Electronics Eng., Pukyong National University) ;
- Ryu, Jee-Youl (Dept. of Electronics Eng., Pukyong National University) ;
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Choi, Hyek-Hwan
(Dept. of Electronics Eng., Pukyong National University) ;
- Lee, Myong-Kyo (Dept. of Electronics Eng., Pukyong National University) ;
- Kwon, Tae-Ha (Dept. of Electronics Eng., Pukyong National University)
- 박성현 (부경대학교 전자공학과) ;
- 최우창 (부경대학교 전자공학과) ;
- 김성우 (부경대학교 전자공학과) ;
- 류지열 (부경대학교 전자공학과) ;
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최혁환
(부경대학교 전자공학과) ;
- 이명교 (부경대학교 전자공학과) ;
- 권태하 (부경대학교 전자공학과)
- Published : 2000.01.31
Abstract
In oder to enhance the selectivity of TMA(trimethylamine) gas, the ZnO-based films which were doped with
휘발성염기질소가스 중에서 TMA 가스의 선택성을 향상시키고 동작온도가 낮고 저농도에서 감도가 높은 반도체가스센서를 제작하기 위해 ZnO에 촉매불순물
Keywords