전자통신동향분석 (Electronics and Telecommunications Trends)
- 제14권1호통권55호
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- Pages.13-23
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- 1999
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- 1225-6455(pISSN)
DOI QR Code
실리카 식각공정 기술동향
- 발행 : 1999.02.15
초록
평면형 광소자 제조공정 중 실리카 식각공정 기술은 일반적으로 잘 알려진 반도체 식각공정 기술과 달리
키워드
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평면형 광소자 제조공정 중 실리카 식각공정 기술은 일반적으로 잘 알려진 반도체 식각공정 기술과 달리