Electronics and Telecommunications Trends (전자통신동향분석)
- Volume 14 Issue 1 Serial No. 55
- /
- Pages.13-23
- /
- 1999
- /
- 1225-6455(pISSN)
DOI QR Code
실리카 식각공정 기술동향
- Published : 1999.02.15
Abstract
평면형 광소자 제조공정 중 실리카 식각공정 기술은 일반적으로 잘 알려진 반도체 식각공정 기술과 달리
Keywords