Visible Light Spectrum of H₂ Plasma Generated a Commercial Electric Power in the Parallel Plate Reactor

상용전원 평행판전극 방전장치에서 수소플라스마의 가시광선스펙트럼

Visible light spectrum emitted from $H_2$ plasma in the parallel plate reactor using a commercial electric power are investigated by optical emission spectroscopy. Intensity of visible light is measured as a function of $H_2$ pressure and discharging power, and the intensity is compared with plasma density measured with the probe. As a result, the intensity is affected by plasma density and the plasma density is controlled the $H_2$ pressure and the discharging power.

상용전원을 사용한 평행판전극 방전장치에서 수소플라스마로부터 방사되는 가시광선의 스펙트럼을 분광기로 조사하였다. 기체압력과 방전전력에 따라 수소플라스마로부터 방사되는 가시광선의 세기를 조사하고, 같은 조건에서 탐침으로 플라스마밀도를 측정하여 가시광선의 세기와 비교하였다. 측정결과, 가시광선의 세기는 플라스마의 밀도에 영향을 받으며, 플라스마 밀도는 기체압력과 방전전력에 영향받았다.