전자공학회논문지D (Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D)

대한전자공학회 (The Institute of Electronics and Information Engineers)
권호 표지

다중양자우물구조의 상호섞임을 이용한 광도파로의 제작 및 측정

Fabrication and Measurement of Optical Waveguide using Multi Quantum Well Intermixing

  • 여덕호 (서울大學敎 電氣工學部) ;
  • 윤경훈 (서울大學敎 電氣工學部) ;
  • 김성준 (서울大學敎 電氣工學部)
  • Yeo, Deok-Ho (School of Electrical Engineering of Seoul National University) ;
  • Yoon, Kyung-Hun (School of Electrical Engineering of Seoul National University) ;
  • Kim, Sung-June (School of Electrical Engineering of Seoul National University)
  • 발행 : 1999.07.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

Separate confinement heterostructure(SCH) 구조를 갖는 InGaAs/InGaAsP 다중양자우물구조의 상호섞임을 이용하여 광도파로를 제작하였다. 광도파로는 $CH_4/H_2$ 혼합가스를 이용한 반응성 이온 식각 방식으로 제작하였으며, 제작된 광도파로는 폭이 $5{\mu}m$이고, 식각 깊이가 $1.2{\mu}m$이다. 광도파로의 전송손실은 tunable laser를 이용한 Fabry-Perot 간섭현상을 이용하여 측정하였다. $800^{\circ}C$, 30s 열처리한 후 제작된 광도파로는 1550,nm TE 모드에서 3.76dB/cm, TM 모드에서 3.95dB/cm의 전송손실을 보였다. 이 전송 손실은 지금까지 ,IFVD를 이용해 제작한 광도파로와 비교해서 매우 작은 값이다. 따라서, 이 방법은 광도파로등의 수동소자와 전자소자의 집적에 응용될 수 있다.

We have fabricated optical waveguide which utilizes intermixing of InGaAs/InGaAsP multi quantum well separate confinement heterostructure. The waveguide was fabricated by reactive ion etching technique using $CH_4/H_2$ gas mixture, and the width and depth of the waveguide ware $5{\mu}m$ and $1.2{\mu}m$, respectively. The propagation loss of the waveguide was measured by Fabry-Perot interference phenomena using tunable laser. For the waveguide after $800^{\circ}C$, 30s heat treatment, the measured loss was 3.76dB/cm and 3.95dB/cm for TE and TM mode, respectively. This value is very small compared to other waveguide made by IFVD technique. Hence, this technique can applied to integration of waveguide and electronic devices.

키워드