Unified Model for Alpha-particle-induced Charge Collection

알파 입자에 의한 전하 수집량에 대한 통합 모델

A Unified model for the alpha-particle-induced charge collection has been developed. By accounting for funneling and diffusion charges separately, new model accurately describes the dependence of collected charge on junction size, junction bias, injection energy, injection angle, injection point, and trench oxide depth.

알파 입자의 입사에 의하여 생성된 전하중 접합으로 수집되는 전하량을 예측할 수 있는 통합 모델을 개발하였다. 이 모델은 funneling과 diffusion에 의한 전하 수집 현상을 모두 고려함으로써 접합 면적, 접합 전압 알파 입자의 입사 에너지, 입사 각도, 입사점의 위치, 그리고 접합간 격리에 사용되는 트랜치 산화막 깊이의 변화에 따른 수집전하량의 변화를 정확하게 예측할 수 있다.