한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)
- 제9권12호
- /
- Pages.1170-1175
- /
- 1999
- /
- 1225-0562(pISSN)
- /
- 2287-7258(eISSN)
반도체 폐 Si 슬러지를 이용한 질화규소세라믹의 제조
Fabrication of Silicon Nitride Ceramics Using Semiconductor-Waste-Si Sludge
- Lee, Byong-Taek (Division of Advanced Materials Engineering , Kongju National University) ;
- Yoo, Jung-Ho (Division of Advanced Materials Engineering , Kongju National University) ;
-
Kim, Hai-Doo
(Ceramic Materials Group, Korea Institute of Machinery Materials)
- 발행 : 1999.12.01
초록
반도체 폐 Si슬러지를 이용하여 질화반응 및 post-sintering을 통해 제조된 질화규소세라믹의 미세조직 및 기계적 특성을 광학현미경, SEM 및 XRD를 이용하여 연구하였다. 상당량의
The microstructures and mechanical properties of
키워드