한국표면공학회지 (Journal of the Korean institute of surface engineering)
- 제32권2호
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- Pages.125-133
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- 1999
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- 1225-8024(pISSN)
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- 2288-8403(eISSN)
반응성 DC 마그네트론 스퍼터법에 의한 SnO$_2$ : F 박막의 전기광학적 특성
Electrical and Optical Properties of SnO$_2$ : F Thin Films by Reactive DC Magnetron Sputtering Method
초록
Fluorine-doped
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