마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제6권2호
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- Pages.51-61
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- 1999
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
R-F magnetron sputtering 법으로 제조된 SrBi$_2$ Ta$_2$ O$_9$ 강유전성 박막의 미세구조 특성 및 전기적 특성
Microstructure and Electrical Properties of SrBi$_2$ Ta$_2$ O$_9$ Ferroelectric Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering Method
초록
R.f. magnetron sputtering법에 의해
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