Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Sputtering of traget materials by the ion scattering monte carlo calculation

이온 산란 몬테칼로 계산에 의한 시료 물질의 스퍼터링

  • 김영삼 (광운대학교 전자물리학과, 플라즈마 및 대전입자빔 연구실) ;
  • 이상석 (광운대학교 전자물리학과, 플라즈마 및 대전입자빔 연구실) ;
  • 김영권 (광운대학교 전자물리학과, 플라즈마 및 대전입자빔 연구실) ;
  • 최은하 (광운대학교 전자물리학과, 플라즈마 및 대전입자빔 연구실) ;
  • 조광섭 (광운대학교 전자물리학과, 플라즈마 및 대전입자빔 연구실)
  • Published : 1999.02.01
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Abstract

Monte Carlo ion scattering program is improved with the single scattering methods where the total cross section and the mean free path are calculated as a function of atomic density during ion scattering in matter. The relations among the parameters of incident ions and substrate materials are investigated to the sputtering phenomena. The sputtering yield has been analyzed with the dependence on the incident ion species and energy, incident angle, and surface binding energy. The energy distribution of sputtered particles is discussed.

입사 이온과 시료 핵과의 개별 산란 방식으로 이온 산란의 몬테칼로 프로그램을 제작하였다. 이 때 시료 원자의 산란 전단면적과 시료 원자들간의 거리는 시료 원자 밀도의 함수로 주어지는 실질적인 크기로 하여 개개의 시료 입자와의 충돌을 계산한다. 이 프로그램을 이용하여 입사 이온에 대한 시료 물질의 스퍼터링의 현상을 입사 이온과 시료와 관련된 변수들의 관계에 대하여 조사하였다. 입사 이온의 질량, 입사 이온의 에너지, 입사각에 따른 스퍼터링 수율과 시료면의 표면 결합에너지에 대한 수율의 변화, 그리고 스퍼터되는 원자의 에너지 분포를 해석하였다.

Keywords

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