Generalization of the pressure profile analysis in a vacuum network

진공네트웍 압력분포 해석의 일반화

A boundary condition reflecting automatically, regardless of the direction of the gas flow, the pressure drop due to the entrance and exit effect occurred at a connection of two elements with different cross-sections in calculating the pressure profile of a vacuum network composed of many chambers and pipes which have different shape and vacuum properties was developed. The method of correcting the pressure drop in an element of varying cross-section like a cone was also introduced to keep the system free from directionality. The developed boundary conditions are applied as an example to a linear composed vacuum system to show how to make a set of simultaneous equations based on the particle balance equation and how to obtain its solution.

형태와 진공특성이 다른 여러 용기와 도관들로 구성된 진공네트웍의 압력분포를 계산할 때 단면이 서로 틀린 요소들의 연결부에서 입출구효과에 의해 발생하는 압력강하를 기체가 흐르는 방향에 상관없이 자동적으로 고려할 수 있는 경계조건을 만들었다. 또 원추형 도관처럼 단면이 변화하는 요소를 포함하고 있는 경우 시스템이 방향성을 가지지 않도록 도관 내에서의 압력강하를 보정하는 방법에 대해 소개한다. 개발된 경계조건을 간단한 예제 진공시스템에 적용하여 입자평형식에 근거를 둔 연립방정식을 작성하고 해를 구하는 과정을 구체적으로 설명한다.