Korean Journal of Materials Research (한국재료학회지)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Analysis on the Elasto-Plastic Peel Test in a Cu/Cr/Polyimide System

Cu/Cr/Polyimide 계의 탄-소성 필 테스트에 대한 해석

  • Park, Young-Bae (Dept. of Materials Science and Engineering, Korea Advanced Institute and Technology) ;
  • Yu, Jin (Dept. of Materials Science and Engineering, Korea Advanced Institute and Technology)
  • 박영배 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 유진 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1999.03.01
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Abstract

Cu/Cr/polyimide 계에서 금속박막 두께와 폴리이미드 표면의 플라즈마 전처리 조건에 따른 필 테스트 결과로부터 Park와 Yu의 X-선 측정에 의한 방법과 Moidu등의 이론적 방법을 통애 Cr/polyimide 계면균열의 계면파괴에너지를 구했다. 두 방법으로 구한 박막의 소성일과 계면파괴어네지는 대부분의 경우에 대해 서로 잘 일치하였으며, 이와 같은 실험적 방법과 이론적 방법 모두 계면파괴에너지의 측정에 유용함을 알 수 있었다. 계면파괴에너지는 박막 두께에 거의 무관하였으며, 0.03, 0.036 그리고 0.05 W/$\textrm{cm}^2$의 rf플라즈마 밀도에 대해 각각 $46.8\pm$17.8, $170.3\pm$42.9 그리고 $253.9\pm$44.4 J/$\m^2$의 계면파괴에너지를 얻었다.

Keywords

References

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