E2M - 전기 전자와 첨단 소재 (Electrical & Electronic Materials)

한국전기전자재료학회 (The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers)
권호 표지

화학 Chemical Mechanical Polishing 공정변수의 이해

  • 김상용 (아남반도체(주) FAB 사업부)
  • 발행 : 1999.10.01
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