Abstract
$\alpha$-$Fe_2O_3$ thin film gas sensors were deposited at various temperature by CVD method. Polycrystalline $\alpha$-$Fe_2O_3$ thin films were deposited at $175^{\circ}C$ and $200^{\circ}C$. $\gamma$-$\alpha$-$Fe_2O_3$ phase was obtained when the deposition temperature was higher than $250^{\circ}C$. The crystallite size of $\alpha$-$Fe_2O_3$ was affected by the deposition and annealing temperature. The specimen deposited at $175^{\circ}C$ showed maximum sensitivity. In this condition, the sensitivity of $\alpha$-$Fe_2O_3$ thin film for NO gas (at 250 ppm) was 3.2 and response time (at 100ppm) was 12 second.
화학기상증착법 (CVD) 으로 $\alpha$-Fe$_2$O$_3$ 박막가스센서를 제조하여 NO가스에 대한 검지감도 특성을 조사하였다. 150~$250^{\circ}C$로 증착온도를 변화시키면서 $\alpha$-Fe$_2$O$_3$ 박막을 증착하였을 때 $175^{\circ}C$와 20$0^{\circ}C$에서 증착한 박막은 $\alpha$-Fe$_2$O$_3$상이 나타났으나 $250^{\circ}C$에서 증착한 시편에서는 ${\gamma}$-Fe$_2$O$_3$상이 나타났다. X-선 회절분석으로 증착 및 열처리 조건에 따른 결정립의 크기변화를 조사한 결과 증착온도가 증가하거나 열처리시에 결정리이 성장함을 알 수 있었다. 가스검지감도 측정결과 175$^{\circ}C$에서 증착한 시편의 감도가 가장 좋은 것으로 나타났고, 이때 NO 가스 250ppm에 대한 검지감도는 3.2, 100ppm일때의 응답시간은 12초였다.
