We have constructed an interferometric microscopy using a Michelson interferometer and a He-Ne laser. The three dimensional image was obtained by the interference from the reflected signal by a sample surface and from the reflected signal by a mirror. The axial resolution obtained by Michelson interferometric microscopy is as good as that of the white-light interferometer, but the same fringe is obtained when optical path difference is half-wavelength. The image from Michelson interferometric microscopy was compared with the images from the various types of confocal microscopy.
마이켈슨 간섭계를 이용한 간섭계형 현미경을 구성하고 특성을 조사하였다. 본 마이켈슨 간섭계형 현미경은 시료 표면의 반사 신호와 거울의 반사 신호가 합쳐져서 일어난 간섭 신호를 이용해서 3차원 영상을 얻는다. He-Ne(λ=633 nm)레이저를 사용한 마이켈슨 간섭계는 반파장 (312.5 nm)의 경로차가 생길 때마다 같은 무늬가 반복해져 나타난다. 본 마이켈슨 간섭계형 현미경은 이러한 간섭 신호를 이용하기 때문에 white-light interferometer 수준의 수직 해상도를 얻을 수 있었다. 구성한 마이켈슨 간섭계형 현미경으로 얻은 영상을 공초점 현미경의 영상과 비교 분석하였다.