Journal of Sensor Science and Technology (센서학회지)

The Korean Sensors Society (한국센서학회)
권호 표지

Fabrication of IC Chip for Self-Diagnostic Function of a Eight-Beam Piezoresistive Accelerometer.

8빔 압저항형 가속도센서의 자기진단 기능을 위한 IC칩 제조

  • Park, Chang-Hyun (Semiconductor Manufacturing Business, Samsung Electronics Co., LTD.) ;
  • Jun, Chan-Bong (Semiconductor Manufacturing Business, Samsung Electronics Co., LTD.) ;
  • Kang, Hee-Suk (Semiconductor Manufacturing Business, Samsung Electronics Co., LTD.) ;
  • Kim, Jong-Jib (Semiconductor Manufacturing Business, Samsung Electronics Co., LTD.) ;
  • Lee, Won-Tae (Semiconductor Manufacturing Business, Samsung Electronics Co., LTD.) ;
  • Sim, Jun-Hwan (Dept. of Electronic & Telecom. Eng., Korea Maritime Univ.) ;
  • Kim, Dong-Kwon (School of Electronic & Electrical Eng., Kyungpook National Univ.) ;
  • Lee, Jong-Hyun (School of Electronic & Electrical Eng., Kyungpook National Univ.)
  • 박창현 (삼성전자(주) 반도체 제조본부) ;
  • 전찬봉 (삼성전자(주) 반도체 제조본부) ;
  • 강희석 (삼성전자(주) 반도체 제조본부) ;
  • 김종집 (삼성전자(주) 반도체 제조본부) ;
  • 이원태 (삼성전자(주) 반도체 제조본부) ;
  • 심준환 (한국해양대 전자통신공학과) ;
  • 김동권 (경북대학교 전자전기공학부) ;
  • 이종현 (경북대학교 전자전기공학부)
  • Published : 1999.01.31
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Abstract

In this paper, we have constructed a self-diagnostic circuit which could detect erroneous signals in most cases that a eight-beam piezoresistive accelerometer were destroyed more than its one beam. To confirm the function of the circuit, PSPICE simulation was carried out. An IC chip was fabricated with a layout of KA 324 amplifier using a bipolar standard processing. After a package of the chip was sealed using a plastic package with 24 pins, the self-diagnostic characteristics were investigated. Then, the measured self-diagnostic characteristics of the circuit were compared with the PSPICE simulated result.

본 논문에서는 8빔 압저항형 가속도센서에서 하나 이상의 빔이 파손되는 대부분의 경우에 대하여 에러신호를 검출할 수 있는 자기진단회로를 구현하고, 이를 PSPICE를 사용하여 시뮬레이션으로 그 기능을 확인하였다. 또한 현재 상용으로 나오는 KA 324 증폭기의 레이아웃을 사용하여 자기진단회로를 표준 바이폴라(bipolar)공정을 이용하여 IC칩으로 제조하고, 24핀 플라스틱 패키지 한 후 자기진단 특성을 조사하였다. 이때, 측정된 회로의 자기진단 특성을 시뮬레이션 결과와 비교하였다.

Keywords