Journal of Sensor Science and Technology (센서학회지)
- Volume 8 Issue 2
- /
- Pages.108-114
- /
- 1999
- /
- 1225-5475(pISSN)
- /
- 2093-7563(eISSN)
Fabrication and Characteristics of Surface-Acoustic-Wave Sensors for Detecting $NO_2$ GaS
$NO_2$ 가스 감지를 위한 표면탄성파 센서의 제작 및 특성
- Choi, D.H. (School of Electronic, Semiconductor, Computer & Communication Engineering, Chongju University)
- 최동한 (청주대학교 전자.정보통신.반도체공학부)
- Published : 1999.03.31
Abstract
Surface acoustic wave (SAW) device is very attractive for gas sensor applications because of their small size, low cost, high sensitivity, and good reliability. A dual delay line surface acoustic wave
표면 탄성파 가스센서는 소자의 크기가 작고, 값이 싸며, 가스에 대한 감도가 매우 높고 소자의 신뢰도가 높은 장점을 갖고 있다. 본 연구에서는,
Keywords