Journal of Sensor Science and Technology (센서학회지)
- Volume 8 Issue 4
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- Pages.320-326
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- 1999
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- 1225-5475(pISSN)
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- 2093-7563(eISSN)
Microfabrication of the ISFET Cartridge by empolying Nozzle system
노즐의 원리를 도입한 ISFET 소형 카트리지 제작
- Kim, Hyun-Soo (Dept. of Sensor Eng., Kyungpook Nat'l Univ.) ;
- Lee, Young-Chul (School of Electronics and Electrical Eng., Kyungpook Nat'l Univ.) ;
- Kim, Young-Jin (School of Electronics and Electrical Eng., Kyungpook Nat'l Univ.) ;
- Cho, Byung-Woog (School of Electronics and Electrical Eng., Kyungpook Nat'l Univ.) ;
- Sohn, Byung-Ki (School of Electronics and Electrical Eng., Kyungpook Nat'l Univ.)
- 김현수 (경북대학교 센서공학과) ;
- 이영철 (경북대학교 전자.전기공학부) ;
- 김영진 (경북대학교 전자.전기공학부) ;
- 조병욱 (경북대학교 전자.전기공학부) ;
- 손병기 (경북대학교 전자.전기공학부)
- Published : 1999.07.31
Abstract
A small cartridge, with a nozzle system for washing off the dirt from the surfaces of sensing gates, was fabricated. The proposed nozzle structure was designed for cartridge by using the simulation tool of fluid (CFD-ACE). Whole size of the fabricated cartridge by using micromachining techniques is about
센서의 감지막 표면에 흡착되어 있는 이물질을 세척하기 위해 노즐 원리를 도입하여 소형 카트리지를 제작하였다. 세척용 노즐구조는 유동 해석 프로그램(CFD-ACE)의 검증을 통하여 소형 카트리지에 적합하도록 설계하였다. 미세가공기술을 이용하여 제작된 카트리지의 전체 크기는 약
Keywords