Solar Energy (태양에너지)

The Korean Solar Energy Society (한국태양에너지학회)
권호 표지

Orientation and Defects of $SnO_2$ Films Deposited by Spray Pyrolysis

무열분해법으로 증착한 $SnO_2$ 박막의 방향성과 결함구조

  • Kim, Tae-Heui (Department of Materials Engineering, Andong National University) ;
  • Park, Kyung-Bong (Department of Materials Engineering, Andong National University)
  • 김태희 (안동대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 박경봉 (안동대학교 공과대학 재료공학부)
  • Published : 1998.06.30
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Abstract

Tin oxide films deposited by spray pyrolysis have defects and preferred orientations according to the temperature of substrate. The growth of crystalline deposits began at the substrate temperature of $300^{\circ}C$. With increasing substrate temperature the plane (200) groved preferentially and above $400^{\circ}C$, planes of higher indices. Grain size increased with increasing substrate temperature up to $400^{\circ}C$. Undoped film is composed of Sn and O, and contains oxygen vacancies. Film doped with antimony has defects such as oxygen vacancies, antimony substituted on Sn and chlorine on oxygen.

분무열분해법으로 $SnO_2$ 박막을 증착하여 기판표면의 온도에 따른 방향성과 결함을 조사하였다. 기판의 온도가 $300^{\circ}C$일 때부터 결정성 박막이 증착되었다. 기판의 온도가 $400^{\circ}C$까지 증가함에 따라 (200)면이 우선적으로 성장하였으며 결정립의 크기도 증가하였다. Sb를 첨가하지 않은 박막은 Sn과 O로 구성되어 있으며 산소공위를 포함한다. Sb를 첨가한 박막은 산소공위 외에 Sn 위치와 O 위치에 각각 치환된 Sb와 Cl을 가진다.

Keywords