The Weathering Resistance of Sol-Gel Derived Anti-Reflective SiO2-Tio2 Thin Films

졸-겔법에 의한 SiO2-Tio2계 박막의 내후성

  • Kim, Sangmoon (Department Ophthalmic Optics, Kwangju Health College) ;
  • Lim, Yongmu (Department Ophthalmic Optics, Kwangju Health College) ;
  • Hwang, Kyuseog (Department of Ceramic Engineering, Chonnam National University)
  • 김상문 (광주보건대학 안경광학과) ;
  • 임용무 (광주보건대학 안경광학과) ;
  • 황규석 (전남대학교 무기재료공학과)
  • Received : 1998.11.30
  • Published : 1998.12.31

Abstract

A transparent and colorless $80SiO_2-20TiO_2$(mol%) thin films on soda-lime-silica slide glass and sapphire substrate were obtained by spin-coating technique using tetraethyl orthosilicate and titanium trichloride as starting materials. The prepared film annealed at $750^{\circ}C$ showed a high transmittance and a low reflectance. For the $SiO_2-TiO_2$ films on slide glasses, a strong interaction between the sodium ion and oxygens is properbly the origin of the good stability to the high temperature and the high humidity.

$80SiO_2-20TiO_2$(mol%)의 무색투명한 비정질 박막을 현미경용 슬라이드 유리판과 사파이어 위에 tetraethyl orthosilicate와 titanium trichloride의 전구체 용액을 사용하여 스핀코팅방법으로 제조하였다. 코팅 후 $750^{\circ}C$에서 열처리된 박막은 높은 투과율과 낮은 반사율을 보였다. 슬라이드 유리판에 코팅한 $SiO_2-TiO_2$ 박막의 경우에 나트륨이온과 산소 간의 강한 상호작용에 의하여 고온과 높은 습도에서도 안정성이 우수하였다.

Keywords