한국안광학회지 (Journal of Korean Ophthalmic Optics Society)
- 제3권1호
- /
- Pages.1-8
- /
- 1998
- /
- 1226-5012(pISSN)
아세틸렌 플라스마를 이용한 다이아몬드성 탄소 박막의 제작 및 특성
Preparation and Investigation of Characteristics of Diamond-like Carbon Thin Films by Acetylene Plasma
- Youk, Do Jin (Institute of Ophthalmic Optics, Taegu Polytechnic College) ;
- Kang, Sung Soo (Institute of Ophthalmic Optics, Taegu Polytechnic College) ;
- Lee, Won Jin (Institute of Ophthalmic Optics, Taegu Polytechnic College)
- 투고 : 1998.10.20
- 발행 : 1998.12.31
초록
지주파 PECVD 방법으로 아세틸렌 분암비를 달리하면서 제작한 비정질 탄소 박막에서의 분광 특성을 조사하였다. Raman 분광으로부터 D 피크와 G 피크의 상대적인 세기로부터
The a-C:H films have been grown on the glass substrate by PECVD mathod, where plasma was generated with a 60Hz line power source. The carbonization is checked from peak intensities of D(
키워드