Abstract
Three different parallel antennas are designed to investigate plasma uniformity and magnetic field using a double Langmuir probe and a magnetic probe. Butterfly antenna has the highest density of ~~$2\times10^{11}(\textrmcm^{-3})$ among the three antennas and has electron temperature less than 2 eV, lower than the spiral antenna. It is found that the power efficiency becomes lower with spaced parallel antenna elements due to oppositely directed currents and positive coupling.
안테나에 따른 플라즈마 밀도의 균일도 연구를 위해 병렬 안테나를 설계하고 이중 랑뮤어 탐침과 자기장 측정 탐침을 이용하여 각각의 플라즈마 밀도와 자기장의 세기를 측정 하였다. 나비형 안테나를 사용했을 때 플라즈마 밀도가 ~$2\times10^{11}(\textrmcm^{-3})$로 다른 두 안테나를 사용했을 때보다 높았으며, 전자의 온도는 2eV 이하로 동일한 조건에서의 나선형 안테나보 다 낮게 나왔다. 또 전류의 방향이 서로 다른 두 개의 안테나선이 가까이 있거나 안테나 성 분끼리 양성 결합(positive coupling)을 하는 경우에는 동력 효율(power efficiency)이 매우 낮아졌다.
