한국재료학회지 (Korean Journal of Materials Research)

  • 제8권2호
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  • Pages.154-160
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  • 1998
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  • 1225-0562(pISSN)
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  • 2287-7258(eISSN)
한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

다양한 제조 공정하에서의 이중층 형성 기구에 관한 고찰

A Review of the Mechanisms Regarding Duplex Layer Formation During Various Manufacturing Processes

  • 김창경 (한양대학교 재료금속공학과)
  • 발행 : 1998.02.01
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초록

다양한 제조 공정하에서 기판위에 형성되는 이중층은 공학적인 관점으로 볼 때 매우 중요한 미세 조직들 중의 하나이다. 이중에서도 고온 산화시에 형성되는 이중층에 관하여는 많은 이론들이 있다. 이 논문에서는 이들 이론들에 대한 가정 및 이론 전개에 대한 고찰을 통해 이들 이론들을 검증하였다. 또 산화 이중층을 진공 박막 제조 및 응고시 형성되는 이중층들과 비교하였다.

키워드

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