STAM 시스템을 이용한 토모그라픽 영상 복원

The Reconstruction of Tomographic Images using STAM System

  • 황기환 (경희대학교 전자공학과) ;
  • 김현 (경희대학교 전자공학과) ;
  • 김종찬 (한국생산기술연구원) ;
  • 전계석 (경희대학교 전자공학과)
  • 발행 : 1998.11.01

초록

본 논문에서는 다층구조물에 대한 토모그라픽 영상을 복원하기 위해 기존의 SLAM 시스템에 쿼드러쳐 검출기와 시료회전장치를 부가하여 STAM 시스템을 구성하고 BFP 알 고리즘을 이용하여 영상복원 프로그램을 개발하였다. 본 실험에서는 시료로서 알루미늄을 사용하여 2개 층이 서로 다른 패턴을 갖는 불균질 층을 만들고 그 사이를 물로써 채워진 다 층구조물을 구성하였으며 또한 불균질 층 간격을 각각 8λ, 10λ 그리고 12λ가 되도록 제 작하였다. 이들 시료는 STAM 시스템에서 4중 프로젝션(0°, 90°, 180°, 270°)시켜 토모 그라픽 데이터를 획득하고 이를 영상처리하여 토모그라픽 영상을 복원하였다. 영상분석 결 과, 본 STAM 시스템은 4중 프로젝션시 12λ의 불균질 층 간격에서 높은 분해능의 토모그 라픽 영상을 얻을 수 있었고 각 층에 대한 위치를 결정할 수 있었다.

키워드

참고문헌

  1. IEEE Ultras. Symp. Acoustic Microscopy-an Industrial View L. W. Kesser
  2. Proc. IEEE. v.67 no.4 Acoustic Microscopy-1979 L. W. Kessler;D. E. Yuhas
  3. IEEE Ultrason. Symp. Data Acquisition in Tomographic Acoustic Microscopy Z. Lin;H. Lee;G. Wade
  4. IEEE Multiple-Frequency and Multiple-Angle Tomography with the Scanning Tomographic Acoustic Microscope R. Y. Chiao;H. Lee
  5. Ultrasonic Symposium Parameter Estimation and the Importance of Phase in Acoustic Microscopy B. L. Douglas;S. D. Kent;H. Lee
  6. 한국음향학회지 v.16 no.3 SLAM 영상을 이용한 크랙 깊이 측정 황기환;전계석
  7. 한국음향학회지 v.16 no.1 STAM 토모그라픽 영상의 분해능 해석 황기환;고대식;전계석
  8. Applied Optics v.8 no.8 Probing of Acoustic Surface Perturbations by Coherent Light R. L. Whitman;A. Korpel
  9. Ph. D. Dissertation, UCSB A Planar Ultrasonic Tomographic Imaging System Z. Lin
  10. IEEE Trans. Sonics Ultrason. v.SU-31 no.6 Back-and-Forth Propagation for Diffraction Tomography Z. Lin;H. Lee;G. Wade