마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제5권2호
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- Pages.59-64
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- 1998
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
(Pb,La) TiO3 강유전체막의 결정성과 전기적특성
Crystalline and Electrical Properties of (Pb, La)TiO3 Ferroelectric Films
초록
Pt/SiO2/Si 기판구조위에 스크린인쇄법과 졸-겔법에 의해 (Pb, La)TiO3(PLT) 후막 과 박막을 도포시켜
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