Journal of the Microelectronics and Packaging Society (마이크로전자및패키징학회지)
- Volume 5 Issue 2
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- Pages.1-6
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- 1998
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
Potashborosilicate glass 첨가에 따른 Fluormica glass-ceramics의 소결특성에 관한 연구
Abstract
B2O3F2를 함유한 Fluormica glass-ceramics 분말과 Potashborosilicate glass 분말을 이용하여 저온소결용 기판을 제조하기 위하여 제조한 그린시트의 특성 및 소결체의 소결 특 성을 평가하였다. 기판 제조용 슬러리를 제조하기 위해 결정화유리분말에 Potashborosilicate glass 분말을 각각 0. 25, 50wt%를 혼용하였다. Doctor blade법으로 그린시트를 제조한후 그 특성을 평가한 결과 건조수축률은 15.2~30.7% 온도상승에 따른 유기물의 탈지온도는 414
Keywords