Korean Journal of Optics and Photonics (한국광학회지)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Interdiffusion effects in optical multilayer thinfilms

광 다층박막의 층간확산 효과

  • Published : 1998.10.01
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Abstract

We have studied the optical effects in dielectric multilayer due to the interdiffusion formed during the deposition process. We suggest a numerical method to calculate the optical properties of periodical multilayer thin-films with gradient-index profiles. Using this method the spectral transmittance and reflectance were obtained for Fabry-Perot type filters, broad-band total reflectors and antireflection filters with interdiffusion layers. Interdiffusion reduced the spectral band width of high reflectance in total reflectors, and deteriorated the characteristics of multilayer AR-coatings leading to a large variation of reflectance if the number of the layers is large.

광학용 유전체 다층박막의 증착시 높은 열로 인해 형성되는 층간확산의 광학적 효과를 연구하였다. 연속적으로 변하는 굴절률 분포함수를 갖고 하나의 부분구조가 주기적으로 반복되는, 다층박막의 광특성 계산방법을 제시한다. 이 방법을 이용하여 Fabry-Perot형 여과막, 넓은 영역에 걸쳐 높은 반사율을 갖는 전반사경 및 반사 방지막에 대해 층간확산이 미치는 영향을 계산하여 투과 및 반사 스펙트럼을 얻었다. 층간확산으로 인하여 전반사경의스펙트럼 대역폭이 줄어들었으며 다층 반사방지막의 경우층의 수가 많을 때 특성이 악화되고 파장에 따른 반사율의 변화가 크게 되었다.

Keywords

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