초록
가우스 동 결상광학계에서 Strehl ratio(SR)를 구하였다. 광원의 파장이 0.365$\mu\textrm{m}$, 광학계의 조리개수(NA)가 0.5이고 상의 분해 선폭이 0.5$\mu\textrm{m}$일 때 자오면에 비점수차가 있는 가우스 결상광학계와 일정한 진폭의 Rayleigh 동 광학계에서 SR을 이론적으로 구하여 비점수차의 Marechal 한계값을 비교한 결과 각각 0.65$\lambda$와 0.24$\lambda$를 얻었다. Seidel 제1차 수차에 대한 가우스 동과 Rayleigh 동의 Marechal 한계를 구한 결과 가우스 동의 Marechal 한계가 매우 큼을 알 수 있었다.
The Strehl ratio(SR) expressions are derived from the diffration intensity distribution in a Gaussian pupil imaging system, and Marechal criterion is applied for the case of astigmatism aberration first and then to all the rest of the Seidel 1st order aberrations. The aberration criteria obtained are tabulated. In the case of Rayleigh's pupil, the same criteria are always smaller than Gaussian pupil, thus the latter is superior to the former.
