Abstract
A compact scanning confocal microscope has been constructed using a quad-detector in a CD-player. The variation of error signal on depth which obtained by a quad-detector is used in the scanning confocal microscope. Bipolar error signals, which is sensitive near a focus, give a surface following effect whiout following the surface. In the case of small depth difference, the difference of materials through the reflection signal has been identified. The image which uses reflection signal only, has been obtained with the same setup. And, the results obtained in two different way were compared and analyzed.
CD-Player에서 사용되고 있는 4분할 광검출기를 이용하여 작고 간단하며 표면 추적 효과를 가지는 공초점 현미경을 구성하였다. 구성한 공초점 현미경은 4분할 광검출기에서 검출되는 오차 신호의 거리에 따른 변화를 이용하였다. 초점 근처에서 민감하게 변하며 양극성인 성질을 가지는 오차 신호를 이용하여 표면 추적을 하지 않아도 정확한 높이 변화를 알 수 있는 표면 추적 효과를 얻었다. 또한 시료의 높이 차이가 크지 않을 경우 반사 신호를 통하여 재질의 차이까지 알 수가 있다. 구성한 공초점 현미경은 간단한 조작으로 반사 신호를 이용하여 영상을 구현할 수도 있어 두 방식으로 얻은 결과를 비교, 분석하였다.