ICROS (제어로봇시스템학회지)

Institute of Control, Robotics and Systems (제어로봇시스템학회)
권호 표지

반도체 생산공정의 제조생산성 및 자동화

  • 구평회 (한국기계연구원 자동화연구부) ;
  • 황경현 (한국기계연구원 자동화연구부)
  • Published : 1998.07.01
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Abstract

본 고에서는 반도체 산업에서 제조 생산성 향상의 필요성을 논하였고, 생산 자동화/통합화와 제조생산성과의 관계에 대하여 기술하였다. 반도체 공정의 생산성 향상을 위해서는 우선 생산 정보시스템 Infrastructure가 구축되어야 하고 이를 기반으로 하여 각 자원 및 기능 간의 효율적인 조정이 필요하다. 특히, Moore's Law에 필요한 효율의 달성을 위해 물류시스템의 자동화/통합화 그리고 반도체 공장의 설계/운영의 합리화를 위한 노력이 종합적으로 이루어져야 한다.

Keywords

References

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