The Transactions of the Korea Information Processing Society (한국정보처리학회논문지)
- Volume 5 Issue 7
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- Pages.1813-1828
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- 1998
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- 1226-9190(pISSN)
A Study on Design and Implementation of Control Module for Wet Station Monitoring
Wet Station 모니터링을 위한 제어 모듈의 설계 및 구현
Abstract
본 논문에서는 기능별로 태스크를 설계하고 프로세스간 통신을 위하여 공유 메모리를 사용하여 wet station 모니터링 시스템을 구현한다. 롯트라는 반도체 웨이퍼 단위를 처리하기 위하여 레시피 명령을 설계하고 이 레시피에 의한 롯트의 배치 처리 과정을 모니터링하는 방법에 대하여 논한다. 설계된 태스크 및 레시피, 공유 메모리를 구현하여 실제 장비에 적용한 결과 각 태스크들이 레시피 명령에 따라 공유 메모리를 매개로 하여 배치 작업을 진행하였고 그 과정을 그래픽 화면을 통해 시각적으로 모니터링 할 수 있었다.
Keywords