반도체용 특수가스의 현황과 전망

  • 손무룡 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
  • 박두선 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
  • 한주탁 (대성산소(주) 초저온연구소)
  • Published : 1998.07.01