Journal of Sensor Science and Technology (센서학회지)
- Volume 7 Issue 3
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- Pages.163-170
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- 1998
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- 1225-5475(pISSN)
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- 2093-7563(eISSN)
Fabrication and Its Characteristics of Ion Energy Spectrometer for Diagnostics of Plasma
플라즈마 진단을 위한 이온에너지 분석장치의 제작 및 특성 조사
- Kim, Kye-Ryung (Dept. of Electronic Engineering, Kyungpook Nat'l Univ.) ;
- Kim, Wan (Radiation Science Research Institute, Kyungpook Nat'l Univ.) ;
-
Lee, Yong-Hyun
(Dept. of Electronic Engineering, Kyungpook Nat'l Univ.) ;
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Kang, Hee-Dong
(Dept. of Physics, Kyungpook Nat'l Univ.)
- Published : 1998.05.30
Abstract
An ion energy spectrometer which has the
플라즈마 이온온도를 측정하기 위해 정전평판형 이온에너지 분석기를 설계 제작하고 에너지 교정 및 에너지 분해능 등의 특성을 조사하였다. 일정한 검출기 위치에서 이온의 에너지에 따른 편향평판전압은 선형성을 보였으며,
Keywords