IE interfaces (산업공학)

Korean Institute of Industrial Engineers (대한산업공학회)
권호 표지

A Simulation-Based Decision Support System for Operations of Etching Workstations

시뮬레이션기반의 엣칭공정 생산운영대안 분석시스템

  • 신용호 (한국과학기술원 산업공학과) ;
  • 서정원 (한국과학기술원 산업공학과) ;
  • 이태억 (한국과학기술원 산업공학과) ;
  • 한익환 (LG반도체(주) 생산시스템개발그룹) ;
  • 최철 (LG반도체(주) 생산시스템개발그룹)
  • Published : 1997.03.31
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Abstract

혼류생산을 위한 반도체 웨이퍼 제조라인 중 엣칭공정의 생산운영대안의 평가를 위한 시뮬레이션 기반의 분석시스템의 개발사례를 소개한다. 엣칭공정의 공정특성 및 작업흐름을 소개하고 생산운영을 위한 의사결정 문제를 설명한다. 생산운영대안의 평가 및 비교를 위해서는 시뮬레이션 모델을 활용한다. 웨이퍼의 회로계층의 수만큼 일련의 제조공정을 반복하는 반복방문 방식의 작업흐름 특성 때문에 생기는 타 공정성과 연관성을 반영하되 엣칭공정의 작업흐름에 초점을 맞추기 위해 엣칭공정 이외의 타공정을 단순화시키는 모델링기법을 사용하였다. 엣칭베이내의 복잡한 작업흐름 및 장비운영제약 조건등을 모델링하기 위해 활용한 객체지향방식의 모델링기법의 적용사례를 소개한다.

Keywords