초록
육방형 이황화 티탄늄의 분말과 박막을 졸-겔법을 변형시켜 제조하였다. 여러 가지 용매하에서 이소프로폭시화 티탄늄과 황하 수소와의 반응에 의해 전구체의 침전을 유도한 후 이것을 황화 수소 분위기에서 열처리를 하면 분말이 얻어지는 반면 2-메톡시에톡시화 티탄늄과의 반응은 안정한 전구체 용액을 주므로 이것을 스핀 코팅하여 열처리하면 박막을 얻을 수 있다. 이러한 분말과 박막의 형태 변화를 열처리를 하면서 전자 현미경과 분말 X-선 회절기를 통해 살펴보았다.
Powders and thin-layers of a hexagonal titanium disulfide phase have been successfully prepared by modifying the sol-gel process. The reaction of titanium isopropoxide with hydrogen sulfide causes the precipitation of a precursor which was converted to the disulfide on heat-treatment in $H_2S$ at various temperatures depending on the solvent adopted, whereas that of titanium 2-methoxyethoxide with $H_2S$ produces a stable solution which was spin-casted onto silicon substrates followed by thermolysis to give thin films. Upon heat-treatment in $H_2S$, the disulfides show interesting morphological variations in the form of their powders and thin films, which were characterized by SEM and X-ray diffractometer.