한국표면공학회지 (Journal of the Korean institute of surface engineering)

  • 제30권3호
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  • Pages.213-217
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  • 1997
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  • 1225-8024(pISSN)
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  • 2288-8403(eISSN)
한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

D.C. 마그네트론 스파터림법에 의하여 증착된 TiN 다층 박막의 특성과 밀착력에 대하여

The characteristics and adhesion strength of TiN multilayer deposited by D.C. magenetron sputtering

  • 김선규 (울산대학교 공과대학 재료공학·금속공학과) ;
  • 유정광 (대우전자 제2연구소) ;
  • 이건환 (한국기계연구원 박막연구소) ;
  • 권식철 (한국기계연구원 박막연구소)
  • 발행 : 1997.06.01
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